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高精度晶圆整合设备

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高精度晶圆整合设备

高精度晶圆整合设备是一款将Wafer上的芯粒,高精度分列到蓝膜上利用 。

利用场景: 单颗Die/Chip从蓝膜到蓝膜的高精度沉排利用 。

产品征询电话:13811928592(毛总)
产品征询邮箱:jian.mao@incubecn.com
  • 来料兼容12寸、8寸Disco铁环

  • 下料兼容12寸、8寸Disco铁环

  • 挑拣晶粒尺寸领域0.15*0.15mm~6*6mm,T≤800μm

  • UPH 27K(0.2*0.2mm晶粒,排片间距≤1.2mm)

  • 排片精度X、Y≦±10um & 角度≦±0.5°

  • 支持正面、背面AOI检测,预防不良晶;烊

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